电子束蒸发系统
所属领域
电子信息
归属单位
燕山大学
主要技术指标
极限真空度：≤0.06mPa；电子枪功率：4KW-6KW；水冷式坩埚6穴，11ml。电阻蒸发组件2套，1.2KW。
主要功能/应用范围
采用电子束热蒸发、电阻热蒸发制备各种纳米功能薄膜、器件
极限真空度：≤0.06mPa；电子枪功率：4KW-6KW；水冷式坩埚6穴，11ml。电阻蒸发组件2套，1.2KW。
主要功能/应用范围
采用电子束热蒸发、电阻热蒸发制备各种纳米功能薄膜、器件
联系人：孙鑫
联系电话：13633355341
地址：河北省秦皇岛市
